半導体パッケージングを支えるパリレンプロセス

Advanced Packaging、Chiplet、Fan-Out、Glass Coreなど、次世代半導体に求められる超薄膜CVDパッケージング技術をご紹介します。

なぜ今、Advanced Packagingなのか

余白(20px)

半導体は、「微細化」から「パッケージング」へ進化しています

AI、HPC(High Performance Computing)、データセンター、自動運転などの普及により、半導体にはこれまで以上の性能・消費電力・実装密度が求められています。

従来はプロセスの微細化によって性能向上を実現してきましたが、近年ではAdvanced Packagingが半導体性能を左右する重要な技術として注目されています。

Chiplet、Fan-Out、SiP、Glass Core、Heterogeneous Integrationなどの新しいパッケージング技術は、高性能化と高密度実装を支える一方で、防湿性・絶縁性・長期信頼性への要求も高まっています。

パリレンは、超薄膜CVDプロセスによる三次元均一成膜により、次世代半導体パッケージングに求められる高信頼性の実現に貢献します。

半導体性能向上の進化

Advanced Packagingに求められる性能

余白(20px)
高密度化・微細化・多機能化が進む次世代半導体パッケージには、これまで以上に厳しい性能要求が求められています。
パリレンは、次世代半導体パッケージの高信頼性を支えるキーテクノロジーです。
余白(20px)

パリレンは「コーティング」ではなく「プロセス」

余白(20px)

半導体パッケージ全体の信頼性を高めるために

従来のコーティングは、完成した製品の表面を保護することが目的でした。一方、次世代半導体では、パッケージング工程そのものがデバイス性能や長期信頼性を左右する重要なプロセスとなっています。

パリレンは、超薄膜CVDプロセスによって微細構造や高密度実装部まで均一に成膜できるため、Advanced Packagingに求められる高い信頼性の実現に貢献します。

パリレンは、完成品に膜を付けるためのコーティングではなく、次世代半導体パッケージの性能と信頼性を支えるプロセス技術です。
余白(40px)

主な適用分野

余白(20px)
パリレンは、次世代半導体パッケージのさまざまな技術領域で高い信頼性を提供します。
パリレンは、あらゆる先端パッケージングにおいて、高信頼性・高性能の実現に貢献します。
余白(40px)

パリレンが、次世代半導体パッケージの信頼性を支えます

余白(20px)

超薄膜CVDプロセスにより、微細構造まで均一に保護

AIプロセッサやChiplet、Fan-Out、Glass Coreなどの次世代半導体では、実装密度の向上とともに、防湿性・絶縁性・長期信頼性への要求が高まっています。

パリレンは、気相CVDプロセスによって複雑な三次元構造や狭ピッチ部まで均一に成膜できるため、高密度実装パッケージ全体の信頼性向上に貢献します。

パリレンは、Advanced Packaging に求められる
超薄膜・三次元均一成膜・長期信頼性を実現するCVDプロセスです。
余白(40px)

半導体パッケージ技術の進化

余白(20px)

Advanced Packagingは、半導体性能を支える中核技術へ

半導体の性能向上は、微細化だけでなくパッケージング技術の進化によって支えられています。AIプロセッサやHPC向けデバイスでは、複数のチップを高密度に集積する高度なパッケージング技術が重要になっています。

パリレンは、超薄膜CVDプロセスによる三次元均一成膜により、こうした次世代パッケージング技術に求められる高い信頼性の実現に貢献します。

余白(40px)

最新技術動向

余白(20px)

AI時代の半導体では、Advanced Packagingがますます重要になっています

AI、HPC(High Performance Computing)、データセンター、自動運転などの進展に伴い、半導体にはさらなる高性能化・高密度実装・低消費電力が求められています。

その実現を支える技術として、Chiplet、Fan-Out、Glass Core、Heterogeneous IntegrationなどのAdvanced Packaging技術が急速に発展しています。

一方で、実装密度の向上や構造の複雑化により、防湿性・絶縁性・耐イオン汚染・長期信頼性への要求も高まっています。

パリレンは、超薄膜CVDプロセスによる三次元均一成膜により、これらの次世代パッケージング技術を支える高信頼性ソリューションの一つとして期待されています。

関連する公開技術資料

技術動向をより詳しく知りたい方は、各社が公開している資料も参考になります。

  • Intel — Glass Core Technology
  • TSMC — Advanced Packaging(CoWoS・SoIC)
  • Samsung Electronics — I-Cube / X-Cube Packaging
  • imec — Heterogeneous Integration Research


※各社の最新技術資料や公開情報をご参照ください。

余白(20px)

半導体パッケージングへのパリレン適用をご検討ですか?

余白(20px)

関連技術サイト

試作評価から量産導入までサポートします。

  • Advanced Packagingへの適用検討
  • パリレン成膜の試作・評価
  • パリレンコーティングサービス
  • プロセス開発
  • 量産設備の導入支援